聚焦電流和陰極位置對束流品質(zhì)影響的CST仿真

摘要： 電子槍的陰極位置和聚焦電流大小會影響電子束的焦距和束斑形貌，進而影響增材制造零件的質(zhì)量。首先根據(jù)實際的電子槍結(jié)構(gòu)，建立了1∶1三維電子槍物理模型和有限元分析模型，并采用CST軟件的粒子工作室模塊進行了仿真，研究了聚焦電流大小和陰極位置對電子束的焦點位置和束斑形貌的影響。仿真結(jié)果表明：聚集電流為460 mA，陰極下表面距柵極上表面為1.0 mm時，電子束在工作平面處的束斑直徑為0...