壓強(qiáng)對(duì)脈沖激光沉積ZnSe:Co薄膜性質(zhì)的影響研究

摘要： 采用脈沖激光沉積技術(shù)在真空腔中制備了ZnSe:Co薄膜。研究了沉積壓強(qiáng)對(duì)等離子體羽輝傳播、薄膜表面形貌，微結(jié)構(gòu)以及光學(xué)性質(zhì)的影響。結(jié)果表明，隨著壓強(qiáng)的增大，等離子體羽輝在空間的傳播距離減小，薄膜沉積方式由濺射式沉積轉(zhuǎn)變?yōu)槲绞匠练e，薄膜的結(jié)晶質(zhì)量得到大幅提升。此外，薄膜的光學(xué)帶隙隨壓強(qiáng)的增大而減小，低壓條件下制備的薄膜具有較大的帶隙值，這與量子限域效應(yīng)有關(guān)。當(dāng)壓強(qiáng)增大到10 P...