WO₃敏感電極的制備及其性能研究

摘要： 邁向微型化、集成化及具有高選擇性和靈敏度的固體電解質(zhì)氣體傳感器已成為未來的發(fā)展趨勢。文章采用磁控濺射法成功制備了WO₃氣體傳感器敏感電極材料，并通過X射線衍射（XRD）、掃描電子顯微鏡（SEM）、X射線光電子能譜（XPS）等表征手段研究了WO₃的結(jié)構(gòu)、成分和形貌并測試了該氣體傳感器對NO₂的氣敏性能。XRD結(jié)果表明，當退火溫度大于400℃時，WO₃出現(xiàn)（200）衍射峰，...