大氣壓雙頻容性耦合Ar/O₂等離子體特性研究

摘要： 文章利用二維流體模型對(duì)雙頻調(diào)制大氣壓Ar/O₂放電特性進(jìn)行了研究，著重討論高低頻電壓、低頻頻率等不同匹配方式對(duì)等離子體參數(shù)的影響，并且通過(guò)對(duì)電子加熱模式、電子密度、中性粒子密度、正離子能量以及正離子總通量等分析了大氣壓Ar/O₂放電雙頻調(diào)控機(jī)制。結(jié)果表明，低頻源電壓的改變使得電子加熱模式由α模式轉(zhuǎn)變?yōu)镈A/α混合模式，且等離子體密度、正離子總通量及離子能量均隨著低頻電壓的升...