熔融溫度對(duì)DLC薄膜雜化狀態(tài)影響的分子動(dòng)力學(xué)研究

摘要： 文章基于Tersoff勢(shì)函數(shù)，采用分子動(dòng)力學(xué)方法建立金剛石的分子模型，分析了不同熔融溫度和冷卻過程對(duì)原子鍵合結(jié)構(gòu)，徑向分布函數(shù)曲線和配位數(shù)的影響，從原子尺度闡明了DLC薄膜制備過程中原子形態(tài)雜化的形成機(jī)理。研究發(fā)現(xiàn)：DLC薄膜主要由C-sp~3和C-sp~2雜化相組成，當(dāng)溫度低于6000 K時(shí)，熔融和冷卻基本不會(huì)使C-sp~3雜化發(fā)生結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)變，薄膜的性能比較穩(wěn)定。當(dāng)溫度高于70... （共6頁）