基于碳納米管電子源的高穩(wěn)定電離真空計的性能研究（英文）

摘要： 文章將碳納米管電子源應(yīng)用于高穩(wěn)定電離真空計，通過結(jié)構(gòu)和電參數(shù)優(yōu)化，研制了樣機，并開展了樣機計量特性的實驗研究，研究結(jié)果表明，新型電離規(guī)在6.87×10^-6 Pa～6.45×10^-5 Pa的壓力范圍內(nèi)，靈敏度在0.200 Pa^-1～0.245 Pa^-1的范圍內(nèi)波動，與仿真靈敏度0.250 Pa^-1的偏差最大為20%，靈敏度波動小于5.96%，證明該結(jié)... （共6頁）