自支撐BaTiO3薄膜的制備與鐵電性研究
真空科學與技術學報
頁數(shù): 7 2024-03-08
摘要: BaTiO
3(BTO)鐵電氧化物薄膜因其在非易失信息存儲、智能傳感、生物醫(yī)療、納米發(fā)電機等領域潛在的應用而受到了人們的廣泛關注。目前,為了保證BTO薄膜能高質量外延生長,通常選擇晶格匹配的氧化物做襯底,所生長的薄膜與襯底之間存在較強的化學鍵,很難將其從襯底上大面積地剝離下來,所以也無法實現(xiàn)下一步轉移到可用于高密度器件集成的的Si基襯底上。文章使用水溶Sr
3Al
2O
6(S... (共7頁)