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一種高性能非蒸散型吸氣劑的性能分析

真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào) 頁數(shù)： 8 2024-04-25
摘要： 非蒸散型吸氣劑（NEG）是高真空和超高真空系統(tǒng)維持真空度的重要材料，具有高穩(wěn)定性和高氣體吸附性能，文章采用粉末冶金的方法制備出Zr_(59.46)V_(29.81)Al_(10.73)吸氣劑，并基于小孔流導(dǎo)法搭建了一套吸氣劑性能測試的高真空系統(tǒng)，分別測試了氣體種類及工作溫度對吸氣劑性能的影響，實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明：Zr_(59.46)V_(29.81)Al_(10.73)吸氣劑對H2... （共8頁）

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