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一種冷陰極電子槍的模擬研究

真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào) 頁(yè)數(shù): 9 2024-04-18
摘要: 文章通過(guò)Computer Simulation Technology粒子工作室軟件建立了一種電子通過(guò)率極高的微焦點(diǎn)冷陰極電子槍。重點(diǎn)研究了電子槍自身結(jié)構(gòu)對(duì)焦點(diǎn)、電子通過(guò)率和陰極發(fā)射電流的影響。特別是仿照了皮爾斯電子槍的結(jié)構(gòu),采用了一種弧面陰極,并在此基礎(chǔ)上增加了一個(gè)陰極凹槽,使電子通過(guò)率從75.21%提高到90.26%,同時(shí)將近500μm的焦點(diǎn)縮小到50μm以內(nèi)。最終設(shè)計(jì)出的冷...

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