當(dāng)前位置:首頁 > 科技文檔 > 工業(yè)通用 > 正文

滑移流區(qū)域梯形微通道內(nèi)氣體熱流逸效應(yīng)及流動特性

真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報 頁數(shù): 8 2024-03-20
摘要: 努森壓縮機(jī)是一種有效的非機(jī)械式氣體升壓微泵,在輸送氣體、壓縮氣體等方面具有巨大的應(yīng)用潛力?;诰哂谢坪吞S邊界條件的納維-斯托克斯方程,建立適應(yīng)于滑移流區(qū)域梯形微通道內(nèi)氣體流動二維數(shù)值模型。分析了傾角和冷熱腔室溫差對微通道內(nèi)部氣體克努森數(shù)分布、壓升以及流動特性的影響規(guī)律。結(jié)果表明:微通道傾角從0°升高到5.72°,壓升從129.181 Pa降低到48.291 Pa,降低了62... (共8頁)

開通會員,享受整站包年服務(wù)立即開通 >
科技文檔