高轉速背景下渦輪分子泵的發(fā)展機遇與挑戰(zhàn)

摘要： 傳統(tǒng)直葉片結構的渦輪分子泵在高轉速的背景下面臨著新的發(fā)展機遇與挑戰(zhàn)，為了突破當前遇到的“渦輪分子泵的抽氣速率隨著渦輪轉速增加到一定程度以后就不再增加，仿佛進入了一個飽和狀態(tài)”的瓶頸問題，文章從分子氣體動力學基本原理出發(fā)，采用蒙特卡洛方法，分析了渦輪轉速提高以后給渦輪分子泵的抽氣機制帶來的新變化，發(fā)現(xiàn)了傳統(tǒng)直葉片結構的抽氣葉列和抽氣模式與目前達到的高轉速不匹配限制了抽速的提升，但... （共11頁）