KrF深紫外光刻投影物鏡光機熱集成分析與優(yōu)化

摘要： 提出了一種融合新型支撐方式與靈敏度分析的光機熱集成分析與優(yōu)化方法，用于設計超高精度深紫外光刻投影物鏡系統(tǒng)。首先，采用軸向多點與周向三點膠接支撐相結(jié)合的新型支撐方式，實現(xiàn)了212.51 mm口徑光學元件的超高精度定位要求。其次，通過對光學元件進行熱力耦合分析，驗證了光機系統(tǒng)的合理性。然后，在光機熱集成分析條件下，分析了單個光學元件的靈敏度，以及全部光學元件表面變形對整體光學系統(tǒng)波...