基于遠(yuǎn)場光分布測量微透鏡面形誤差峰谷值的方法

摘要： 針對傳統(tǒng)微透鏡面形測試光路復(fù)雜和效率不高的問題，提出了一種基于微透鏡遠(yuǎn)場光斑高效提取環(huán)帶狀面形誤差峰谷（PV）值的方法。基于幾何光學(xué)原理，計算了不同環(huán)帶誤差形成的光斑的分界線位置；建立了環(huán)帶誤差的三維模型，通過仿真不同誤差模型下的遠(yuǎn)場光斑，獲得了分界線內(nèi)外光強(qiáng)比值和環(huán)帶誤差值的對應(yīng)關(guān)系；最后利用微納加工技術(shù)制備出不同環(huán)帶誤差的微透鏡陣列，搭建測試光路，通過測試獲得了不同環(huán)帶誤差...