深紫外高陡度濾光膜的研制

摘要： 為抑制非相干光產(chǎn)生的干擾，提高紫外單色儀的分辨率，本文選擇Al₂O₃、AlF₃分別作為高、低折射率材料，在熔融石英基底上設(shè)計(jì)并制備了深紫外全介質(zhì)高陡度濾光膜。通過(guò)優(yōu)化沉積工藝及膜層應(yīng)力分析方法，解決了薄膜應(yīng)力過(guò)大所導(dǎo)致的膜裂問(wèn)題；并對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行反演分析，通過(guò)優(yōu)化監(jiān)控方法提高了膜厚控制精度。制備的深紫外高陡度濾光膜在232～400 nm平均透過(guò)率為97.67%，在115～...