低遠(yuǎn)場發(fā)散角976 nm基橫模脊形半導(dǎo)體激光器
光學(xué)學(xué)報(bào)
頁數(shù): 7 2024-04-25
摘要: 采用非對稱大光腔外延結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)制備出976 nm InGaAs/GaAsP應(yīng)變補(bǔ)償量子阱脊形半導(dǎo)體激光器,通過對外延結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)優(yōu)化,以實(shí)現(xiàn)器件低遠(yuǎn)場發(fā)散角、低功耗的基橫模穩(wěn)定輸出。所制備基橫模脊形半導(dǎo)體激光器的脊寬為5μm、腔長為1500μm,在25℃測試溫度下,可獲得422 mW最大連續(xù)輸出功率,峰值波長為973.3 nm,光譜線寬(FWHM)為1.4 nm。當(dāng)注入電流為500...