用于VCSEL陣列光分布調(diào)控的自由曲面透鏡陣列設(shè)計(jì)

摘要： 針對(duì)垂直腔面發(fā)射激光器（VCSEL）設(shè)計(jì)了自由曲面整形透鏡，使VCSEL輸出光束在目標(biāo)面呈均勻的輻照度分布。自由曲面透鏡前表面為非球面，后表面為自由曲面。在設(shè)計(jì)自由曲面的設(shè)計(jì)過(guò)程中，在自由曲面透鏡中間區(qū)域設(shè)置虛擬平面，根據(jù)虛擬平面和目標(biāo)面能量之間的關(guān)系，確定自由曲面入射光束和出射光束的方向矢量，獲得自由曲面采樣點(diǎn)上各點(diǎn)的法向矢量。自由曲面的矢高和法向矢量之間構(gòu)成了一個(gè)泊松方程。...