毛細管放電46.9 nm極紫外激光應用研究進展

摘要： 毛細管放電極紫外激光是一種小型化的納秒極紫外激光光源。相比自由電子激光和同步輻射等短波長光源，該光源具有運行成本低、單脈沖能量高和機時充足等顯著優(yōu)勢。隨著毛細管放電極紫外激光光源的發(fā)展，其輸出已提高至深度飽和區(qū)，并且實現(xiàn)了重復頻率輸出、多波長輸出等多樣化輸出方式。小型化的靈活性和優(yōu)質(zhì)的輸出參數(shù)使其逐漸成為進行極紫外激光應用研究的理想光源。本文介紹了自1994年毛細管放電極紫外激...