高重復(fù)頻率192～300 nm連續(xù)可調(diào)諧超短脈沖激光器

摘要： 報道了一種高重復(fù)頻率、寬波段連續(xù)可調(diào)諧的紫外/深紫外超短脈沖激光器，調(diào)諧范圍為192～300 nm。該激光器采用可調(diào)諧的鈦寶石鎖模激光器作為基頻光源，通過優(yōu)化設(shè)計多級倍頻/和頻組合與非線性晶體角度，分三個波段進行頻率上轉(zhuǎn)換，分別產(chǎn)生了192～210 nm、210～250 nm、250～300 nm的深紫外/紫外激光，最終合成一路覆蓋192～300 nm的連續(xù)可調(diào)諧超短脈沖激光，...