基于遺傳算法的快軸流CO₂激光放大器的參數(shù)優(yōu)化

摘要： 獲得13.5 nm極紫外光刻光源的主流方案為激光激發(fā)等離子體，即利用高功率、高重復(fù)頻率、高光束質(zhì)量的短脈沖CO₂激光與液滴錫靶作用產(chǎn)生極紫外光。高功率CO₂激光由振蕩器產(chǎn)生的高重復(fù)頻率CO₂種子經(jīng)多級放大產(chǎn)生，所以功率放大器是驅(qū)動光源系統(tǒng)的核心器件之一。建立了射頻激勵快軸流CO₂激光放大器的六溫度模型，可以模擬計算放大過程中穩(wěn)態(tài)與瞬態(tài)的能量分布情況、光強變化情況、增益系...