高效率高功率976 nm半導(dǎo)體激光芯片設(shè)計(jì)與制備

摘要： 976 nm高功率半導(dǎo)體激光芯片是光纖激光器的核心部件，具有極為重要的產(chǎn)業(yè)價(jià)值。報(bào)道了課題組在高效率高功率半導(dǎo)體激光芯片的設(shè)計(jì)、制作與測試方面的研究成果。為了最大限度地提高器件的功率轉(zhuǎn)換效率，同時(shí)滿足苛刻的壽命要求，在設(shè)計(jì)上采用雙非對稱大光腔波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，同時(shí)對量子阱結(jié)構(gòu)、波導(dǎo)結(jié)構(gòu)、摻雜以及器件結(jié)構(gòu)進(jìn)行了優(yōu)化；在外延生長方面，系統(tǒng)地優(yōu)化了生長工藝參數(shù)，確保了外延材料具有極高的內(nèi)量子...