基于國產(chǎn)商用CLBO晶體的高轉(zhuǎn)換效率、高功率深紫外266 nm激光

摘要： 深紫外激光具有光子能量高、波長短等特點，在激光加工、半導體光刻等領(lǐng)域中具有重要的應(yīng)用價值。固體激光非線性頻率變換是實現(xiàn)高功率、高相干性深紫外激光輸出的主要方式之一。采用全固態(tài)532 nm激光作為基頻光、國產(chǎn)商用CsLiB₆O_(10)(CLBO）晶體作為頻率變換晶體，在基頻光功率為34.2 W時，實現(xiàn)了平均功率為14 W、重復(fù)頻率為100 kHz、脈沖寬度為1.8 ns的26...