高光束質(zhì)量大功率垂直腔面發(fā)射激光器

摘要： 采用新型多環(huán)形腔結(jié)構(gòu)優(yōu)化垂直腔面發(fā)射激光器（VCSEL）的光場分布，解決了大孔徑器件嚴重的載流子聚集效應(yīng)導(dǎo)致的輸出功率低、光束質(zhì)量差的問題。研究結(jié)果表明：新型結(jié)構(gòu)VCSEL較孔徑相同的傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)器件呈現(xiàn)更低的閾值電流，特別是輸出功率較傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)提高了近56%，且遠場呈高斯分布。研究工作為實現(xiàn)高光束質(zhì)量大功率垂直腔面發(fā)射激光器提供了新的技術(shù)途徑。