基于等效元件和相位補(bǔ)償法的雙倍分辨率波片測(cè)量

摘要： 提出了一種基于等效元件和相位補(bǔ)償法的高精度任意波片相位延遲量和方位角同時(shí)測(cè)量的方法。在測(cè)量光路中的待測(cè)波片之前插入一個(gè)可旋轉(zhuǎn)半波片，利用反射鏡使測(cè)量光兩次過該半波片和待測(cè)波片，相當(dāng)于測(cè)量一個(gè)相位延遲量為待測(cè)波片兩倍的等效波片，可以實(shí)現(xiàn)雙倍分辨率檢測(cè)。采用雙頻激光源和相位檢測(cè)方式，旋轉(zhuǎn)半波片補(bǔ)償測(cè)量光相位，將測(cè)量光相對(duì)參考光的相位差變化先后調(diào)整為最大值和最小值，由二者之差即可得到...