Ronchi剪切干涉儀高精度相位提取及誤差分析

摘要： 雙光柵Ronchi剪切干涉是一種基于瞳面測(cè)量的波像差檢測(cè)技術(shù)，該技術(shù)具有無需參考面、共光路測(cè)量以及結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易于集成等優(yōu)點(diǎn)，適用于光刻投影物鏡波像差的在線檢測(cè)。相位提取是采用該技術(shù)進(jìn)行波像差檢測(cè)的重要步驟，直接影響最終的測(cè)量精度。針對(duì)雙光柵Ronchi剪切干涉儀高階衍射光影響相位提取精度的問題，提出了一種高精度的相位提取算法，可消除剪切干涉場(chǎng)中±1級(jí)衍射光重疊區(qū)域內(nèi)高階衍射光的...