腔體材料對氧化銅箔襯底上制備石墨烯的影響

摘要： 傳統(tǒng)的化學(xué)氣相沉積法制備的石墨烯普遍存在晶疇面積小、晶界缺陷多的問題，嚴(yán)重制約了大面積石墨烯的性能及應(yīng)用。本文采用低壓化學(xué)氣相沉積技術(shù)在受限生長腔中的氧化銅箔襯底上制備石墨烯，對比研究了石英和剛玉兩種材質(zhì)的受限生長腔中，不同甲烷流量和生長時間條件下氧化銅箔襯底上石墨烯的形核生長狀況。結(jié)果表明，相同生長條件下，相較于石英受限生長腔，雖然剛玉受限生長腔中石墨烯的晶疇尺寸較小，但是氧...