容性耦合硅烷等離子體塵埃顆?？臻g分布的二維流體模擬

摘要： 基于自主研發(fā)的二維流體塵埃模型,研究了射頻容性耦合硅烷等離子體放電中不同腔室結(jié)構(gòu)對(duì)塵埃顆粒密度空間分布的影響.模擬發(fā)現(xiàn),有別于一維模型,徑向電場(chǎng)和作用在塵埃顆粒上的離子拖拽力徑向分量是導(dǎo)致塵埃顆粒密度分布徑向不均勻的主要因素,使其在極板邊緣處呈現(xiàn)兩個(gè)局部峰值,其中一個(gè)峰值表明塵埃顆粒有可能會(huì)克服電場(chǎng)力的支撐更接近極板.在極板半徑較小或極板間距較小的情況下,徑向離子拖拽力的作用增...