耦合諧振系統(tǒng)中基于Fano共振的光學壓力傳感器

摘要： 光學壓力傳感器在微小形變檢測、環(huán)境監(jiān)測以及醫(yī)學領域等方面具有非常重要的作用.然而,外加壓力與諧振腔形變前后的光學響應之間的定量關系很難獲得.本文提出了一種基于金屬-介質(zhì)-金屬波導的耦合諧振腔系統(tǒng)用于實現(xiàn)光學壓力傳感器.利用有限元方法對該系統(tǒng)的力學特性以及受力前后的光學傳輸特性進行詳細分析.仿真結果顯示諧振腔的最大形變量與所施壓力呈簡單的線性關系.給出了光學壓力傳感器靈敏度的直接...