X波段Si基片集成脊波導(dǎo)MEMS環(huán)行器

摘要： 基于波導(dǎo)傳輸理論設(shè)計并制備了一款Si基片集成脊波導(dǎo)(RSIW)微電子機械系統(tǒng)(MEMS)環(huán)行器，該環(huán)形器以高阻硅作為襯底材料，采用高精度三維MEMS加工工藝制備而成。通過在基片集成波導(dǎo)(SIW)結(jié)構(gòu)中添加脊梁結(jié)構(gòu)，形成RSIW傳輸結(jié)構(gòu)，使傳輸主模TE10模的截止頻率比矩形波導(dǎo)TE10模的低，從而實現(xiàn)相同頻率下更小的器件尺寸。同時，通過電磁仿真軟件對射頻匹配和磁場分布進行了精確的...