壓流膜阻力對(duì)超微量點(diǎn)膠過程的影響及膠液轉(zhuǎn)移率預(yù)測(cè)方法
微納電子技術(shù)
頁數(shù): 8 2024-04-11
摘要: 超微量點(diǎn)膠技術(shù)是微納制造技術(shù)發(fā)展中的關(guān)鍵環(huán)節(jié),對(duì)封裝效果起著決定性作用。然而,這項(xiàng)技術(shù)存在精度不高和控制困難等問題,需要進(jìn)一步研究和改進(jìn)。因此,基于膠液轉(zhuǎn)印機(jī)制,根據(jù)液橋擠壓模型得到壓流膜阻力的數(shù)學(xué)模型,利用公式法和掃描法確定了膠滴體積,研究和預(yù)測(cè)了壓流膜阻力對(duì)膠液轉(zhuǎn)移率的影響,實(shí)現(xiàn)了pL量級(jí)的膠液轉(zhuǎn)移。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,壓流膜阻力在膠液轉(zhuǎn)移過程中起重要作用,隨著壓流膜阻力由0.5...