壓流膜阻力對超微量點膠過程的影響及膠液轉(zhuǎn)移率預(yù)測方法

摘要： 超微量點膠技術(shù)是微納制造技術(shù)發(fā)展中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，對封裝效果起著決定性作用。然而，這項技術(shù)存在精度不高和控制困難等問題，需要進一步研究和改進。因此，基于膠液轉(zhuǎn)印機制，根據(jù)液橋擠壓模型得到壓流膜阻力的數(shù)學(xué)模型，利用公式法和掃描法確定了膠滴體積，研究和預(yù)測了壓流膜阻力對膠液轉(zhuǎn)移率的影響，實現(xiàn)了pL量級的膠液轉(zhuǎn)移。實驗結(jié)果表明，壓流膜阻力在膠液轉(zhuǎn)移過程中起重要作用，隨著壓流膜阻力由0.5... （共8頁）