激光織構(gòu)形狀間距對單晶硅摩擦磨損特性的影響

摘要： 目的 提高單晶硅的減摩耐磨性能。方法 利用紫外激光在單晶硅試樣表面刻蝕不同形狀，間距為0.1、0.2、0.3mm，寬度為0.2mm的織構(gòu)。基于MRTR-1摩擦磨損實驗機(jī)，研究干摩擦條件下織構(gòu)參數(shù)對單晶硅摩擦學(xué)性能的影響。利用光學(xué)顯微鏡和掃描電子顯微鏡(SEM)觀察單晶硅表面織構(gòu)的微觀形貌和磨痕形貌，用電子天平稱量實驗前后試樣的質(zhì)量，并計算磨損率，通過Ansys有限元軟件模擬仿真...