多光譜硫化鋅光學(xué)窗口離子束拋光工藝研究及參數(shù)優(yōu)化

摘要： 多光譜硫化鋅因其在近、中、遠(yuǎn)紅外等多個光譜波段具有較高的光學(xué)透率，廣泛應(yīng)用于紅外光學(xué)制導(dǎo)導(dǎo)引頭、光電探測雷達(dá)、機載光電吊艙。為了獲得超高面形精度的多光譜硫化鋅光學(xué)元件，并提高離子束拋光效率，采用正交實驗方法對硫化鋅進(jìn)行離子束單點刻蝕實驗，獲取各工藝參數(shù)下的去除函數(shù)特征量及體積去除率。通過對正交實驗數(shù)據(jù)進(jìn)行直觀法分析和極差法分析，以體積去除率最大為目標(biāo)進(jìn)行工藝參數(shù)優(yōu)化，獲得的優(yōu)化... （共9頁）