曲面硅電極五軸精密磨削工藝研究

摘要： 近兩年出現(xiàn)了新型刻蝕技術(shù)，將半導(dǎo)體刻蝕用硅電極設(shè)計(jì)成曲面結(jié)構(gòu)。而曲面硅電極的精度及粗糙度要求非常高，其生產(chǎn)都是在國(guó)外進(jìn)行，具體工藝未知。研究出一套曲面硅電極高效、精密磨削方法。通過(guò)分析曲面硅電極零件，提出采用五軸磨削技術(shù)進(jìn)行加工的工藝方案，使用五軸編程軟件進(jìn)行編程，采用具備機(jī)內(nèi)自動(dòng)化技術(shù)和數(shù)字仿真技術(shù)的五軸磨削中心，對(duì)曲面硅電極的磨削加工策略進(jìn)行驗(yàn)證。結(jié)果表明：此項(xiàng)加工技術(shù)可提...