薄膜鈮酸鋰光波導(dǎo)器件的研究進(jìn)展（特邀）

摘要： 鈮酸鋰材料因其寬的透明窗口、成熟的波導(dǎo)制作工藝，以及優(yōu)異的電光效應(yīng)，在過(guò)去幾十年中被廣泛應(yīng)用于制作高性能光波導(dǎo)電光調(diào)制器與電光開(kāi)關(guān)。近年來(lái)，隨著高質(zhì)量薄膜鈮酸鋰的商品化，研究人員又開(kāi)發(fā)了多種高性能的薄膜鈮酸鋰光波導(dǎo)器件，這些器件的性能已經(jīng)遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)了傳統(tǒng)塊狀鈮酸鋰波導(dǎo)器件。本文主要梳理了近年來(lái)薄膜鈮酸鋰平臺(tái)上的光波導(dǎo)、光柵耦合器、邊緣耦合器、電光調(diào)制器及可調(diào)諧濾波器的研究進(jìn)展，簡(jiǎn)...