高質(zhì)量碲鎘汞雙層異質(zhì)結(jié)材料制備

摘要： 本文重點(diǎn)介紹了富汞垂直液相外延技術(shù)，在對(duì)該技術(shù)進(jìn)行研究時(shí)，提出了一種溫場(chǎng)優(yōu)化方法和一種生長(zhǎng)方法來(lái)提升材料質(zhì)量和工藝穩(wěn)定性。最后介紹基于雙層異質(zhì)結(jié)材料采用臺(tái)面結(jié)器件加工等碲鎘汞探測(cè)器組件制備方法，制備中波、長(zhǎng)波和甚長(zhǎng)波碲鎘汞探測(cè)器組件的進(jìn)展情況。 （共5頁(yè)）