研磨壓力對聚晶金剛石表面質量的影響

摘要： 使用金剛石平磨盤對聚晶金剛石（polycrystalline diamond,PCD）復合片的金剛石層進行高速研磨實驗，研究研磨壓力對PCD研磨去除率、表面粗糙度和表面形貌的影響。結果表明：當研磨壓力為0.10～0.18MPa時，隨著研磨壓力的增大，PCD的研磨去除率增大，表面粗糙度減小。PCD研磨表面缺陷主要包括沿晶破碎、微小凹坑、機械劃痕、微裂紋等，且隨著研磨壓力增大，研磨... （共6頁）