柔性超導電路制備工藝技術研究

摘要： 超導轉變邊沿探測器是坎德拉單位量子化復現(xiàn)和單能X射線量子計量的核心器件。大規(guī)模超導轉變邊沿探測器陣列探頭的信號讀出需利用柔性超導電路將信號傳輸至探頭側面的超導量子干涉器件。柔性超導電路是將超導信號線制備在柔性聚酰亞胺襯底上以實現(xiàn)信號低熱導率、無阻傳輸。以硅片作為臨時支撐，電子束蒸發(fā)100 nm Cr膜作為剝離犧牲層。非光敏聚酰胺酸旋涂在Cr膜上固化后，通過紫外曝光、濺射薄膜沉積... （共6頁）