電場驅(qū)動微尺度3D打印掩膜電解加工微結(jié)構(gòu)

摘要： 針對目前掩膜微細電解加工掩膜制作工藝復雜、微結(jié)構(gòu)加工精度差等問題，提出電場驅(qū)動微尺度3D打印掩膜與陰極振動脈沖電解加工新方法。充分利用微尺度3D打印高分辨率、掩膜靈活性的優(yōu)勢，實現(xiàn)聚乳酸(PLA)材料微米級掩膜的精確打印，結(jié)合陰極振動進給與脈沖電壓同步控制的電解加工工藝，取得了較好的加工效果。研究微尺度3D打印掩膜工藝規(guī)律，建立了陰極振動與脈沖同步電解加工模型，仿真分析間隙動態(tài)... （共17頁）