空間載波技術(shù)最優(yōu)系統(tǒng)誤差的設計方法

摘要： 在光學面形檢測領(lǐng)域中，利用空間載波相移技術(shù)可以實現(xiàn)對待測面形的快速、動態(tài)測量，而系統(tǒng)誤差的引入一直是制約其精度的重要因素。針對此問題，提出一種自適應引入最優(yōu)系統(tǒng)誤差的方法。該方法對不同規(guī)格的待測鏡引入不同的載波量，將系統(tǒng)回程誤差控制在合理范圍內(nèi)，提升了空間載波面形檢測的精度，其過程可概括如下：首先，預估待測鏡PV值，平面鏡默認為0.3λ,球面鏡通過獲取其曲率半徑R和口徑■,代入... （共8頁）