空間載波技術(shù)最優(yōu)系統(tǒng)誤差的設(shè)計(jì)方法

摘要： 在光學(xué)面形檢測(cè)領(lǐng)域中，利用空間載波相移技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)對(duì)待測(cè)面形的快速、動(dòng)態(tài)測(cè)量，而系統(tǒng)誤差的引入一直是制約其精度的重要因素。針對(duì)此問(wèn)題，提出一種自適應(yīng)引入最優(yōu)系統(tǒng)誤差的方法。該方法對(duì)不同規(guī)格的待測(cè)鏡引入不同的載波量，將系統(tǒng)回程誤差控制在合理范圍內(nèi)，提升了空間載波面形檢測(cè)的精度，其過(guò)程可概括如下：首先，預(yù)估待測(cè)鏡PV值，平面鏡默認(rèn)為0.3λ,球面鏡通過(guò)獲取其曲率半徑R和口徑■,代入...